Показаны результаты 1 - 1 из 1
Год выпуска | Название | Автор(ы) | Тип | Просмотров | Загружено |
---|---|---|---|---|---|
2011 | Optical monitoring of technological processes for fabrication of thin-film nanostructures | Luk'yanov, A.Yu.; Volkov, P.V.; Goryunov, A.V.; Daniltsev, V.M.; Pryakhin, D.A.; Tertyshnik, A.D.; Khrykin, O.I.; Shashkin, V.I. | Conference Papers | 7486390 | 12281902 |